Le modalità estintive del diritto di superficie e della proprietà superficiaria sono correlate al modo della sua costituzione ed alla configurazione concreta di essa.
Il diritto può anzitutto cessare per
consolidazione alla nuda proprietà tutte le volte in cui venga posto in essere un atto o un fatto implicante il trasferimento del diritto
di superficie al proprietario del suolo o viceversa. Come tutti i diritti reali minori parziari la superificie si estingue inoltre per
non uso ventennale (solo quanto attiene al diritto
ad aedificandum dall'
art.954 cod.civ.). E' inoltre possibile il
perimento della costruzione (art.
954, III comma cod.civ.). Infine si può riferire dell'esaurirsi del diritto in esito al
decorso del termine finale, ogniqualvolta la superficie sia stata costituita a tempo determinato. Le prime tre cause estintive citate riguardano la superficie sia quando sia stata costituita a tempo indeterminato sia quando sia stato previsto un termine finale. L'ultima soltanto questa ipotesi.